Sinan®Filter过滤芯防护方案

方案描述

       半导体、LED芯片、微电子及磁盘驱动器等苛刻的制造过程中，流体纯度是必不可少的，如湿蚀刻和清洁、光刻和化学机械平坦化（CMP）。随着晶体管不断收缩，在纳米范围内捕获微小粒子变得越来越重要。

       Sinan®Filter过滤芯微过滤解决方案直指制造过程关键，帮助芯片制造商滤除有害污物，提高加工效率及良品，减少总加工成本。采用Sinan®ePTFE膜为过滤介质，具有优越截留率和无与伦比的流量；梯度孔径结构设计，分级过滤，使得Sinan Filter过滤芯具有更高的纳污量和更长的寿命。适用于对性能、质量一致性、和产品清洁度要求苛刻，并可重复性的制造过程应用。

产品特点

1. 具有捕捉纳米范围内颗粒的能力，高效滤除有害物，提高加工良品；

2. 保留优越的流速，在不牺牲生产能力的情况下实现高工艺产量；

3. 梯度孔径结构设计，分级过滤，具有更高的纳污量和更长的寿命；

4. 耐极端温度和化学侵蚀，适用苛刻应用环境；

5. 表面过滤材料，具有良好的自洁性，反复清洗不脱落。

应用优势

1. 广泛的现场测试数据；

2. 自主研发的过滤介质，高一致性；

3. 不同过滤孔径选择，从30纳米（0.03微米）到10微米；

4. 定制应用所需的各种流速；

5. 提供亲水、疏水过滤介质选择；

6. 提供定制尺寸的膜盘。

应用领域

1.半导体

2.LED芯片

3.智能显示器等制造过程

产品选型